【単行本】 近藤英一 / 半導体・MEMSのための超臨界流体 送料無料
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商品の詳細
ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: コロナ社
発売日: 2012年09月
ISBN: 9784339008371
発売国: 日本
その他: 227p 21cm(A5)
SKU: 5164885
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フォーマット: 単行本
出版社: コロナ社
発売日: 2012年09月
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内容詳細
目次 : 1 超臨界流体とマイクロ・ナノプロセス/ 2 半導体とMEMSの製造プロセス/ 3 超臨界乾燥/ 4 超臨界流体を用いた半導体・MEMS洗浄技術/ 5 多孔質薄膜と細孔エンジニアリング/ 6 めっきへの応用/ 7 化学的薄膜堆積/ 8 超臨界流体を用いたエッチング加工
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