【単行本】 大和田邦樹 / RF MEMS技術の応用展開 CMCテクニカルライブラリー 送料無料
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商品の詳細
ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: シーエムシー出版
発売日: 2012年02月
ISBN: 9784781304960
発売国: 日本
その他: 224p 21cm(A5)
SKU: 4959259
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ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: シーエムシー出版
発売日: 2012年02月
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内容詳細
目次 : 1 総論(MEMS技術の概要/ RF MEMS技術の概要)/ 2 プロセス技術(プロセス基盤技術/ RF MEMSのプロセス技術 ほか)/ 3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術/ MEMS構造体のRF設計技術)/ 4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ/ 線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)/ 5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール/ 高効率デュアルバンド増幅器 ほか)
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